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Fertigung & Automation Marc Oberli Aktualisiert am 2026-09-25 8 Min. Lesezeit

Verdeckte Lötstellen unter Ball-Grid-Arrays entziehen sich der optischen Kamera. Der Artikel vergleicht Durchsatz, Fehlererkennungsraten und Kosten beider Systeme.

AOI oder AXI: Prüfverfahren für BGA-Lötstellen im Vergleich
Das Wichtigste in Kürze
  • Optische Inspektionssysteme erkennen Brücken und Versatz nur an äußeren Randbereichen.
  • 3D-Röntgeninspektion macht Hohlräume und unzureichende Benetzung unter dem Bauteilkörper sichtbar.
  • Eine Kombination aus 3D-AOI für Standardbauteile und Stichproben-AXI optimiert den Fertigungstakt.

BGA-Lötstellen entziehen sich optischen Kameras. Da sich die Lötverbindungen vollständig unter dem Bauelementekörper befinden, scheitert eine Standard-Auflichtprüfung an physikalischen Grenzen. Für eine belastbare Qualitätsbewertung in der SMT-Fertigung (Surface Mount Technology) stehen Fertigungsleiter und Prüfplaner vor der Wahl zwischen automatischer optischer Inspektion (AOI) und automatischer Röntgeninspektion (AXI).

Die Entscheidung bestimmt nicht nur die Fehlererkennungsrate, sondern beeinflusst direkt den Linientakt, die Investitionsausgaben und die Ausschussquote. Eine Fehlentscheidung führt entweder zu unentdeckten Feldausfällen durch versteckte Lötfehler oder zu kostspieligen Taktzeitengpässen direkt hinter dem Reflow-Ofen. Dieser Vergleich analysiert beide Verfahren anhand technischer Parameter, Fehlerbilder und wirtschaftlicher Kennzahlen.

Grenzen kamerabasierter Inspektionssysteme

Optische Inspektionssysteme arbeiten mit Auflicht, Streiflicht und Schrägblickkameras im sichtbaren Wellenlängenbereich. Bei Ball Grid Arrays (BGAs) blockiert das Gehäuse aus Epoxidharz, Keramik oder Silizium die direkte Sichtlinie auf das Lotdepot. Eine Standard-AOI mit 2D- oder 3D-Kopf von oben erfasst lediglich die Außenkanten des BGA-Gehäuses. Sie liefert verlässliche Daten zur Bauteilanwesenheit, zu X-Y-Versatz und zur Gehäusedrehung, trifft jedoch keine Aussage über die Verbindung zwischen Kugel und Leiterplattenpad.

Schrägblickkameras mit Blickwinkeln zwischen 45 und 60 Grad erweitern das Sichtfeld geringfügig. Bei BGA-Komponenten mit einem Rastermaß (Pitch) von 1,0 mm oder 0,8 mm lässt sich damit die äußerste Kugelreihe partiell einsehen. Das System beurteilt dort die Benetzung am Pad und grobe Lotbrücken. Bereits ab der zweiten Kugelreihe tritt eine vollständige optische Abschattung ein. Bei modernen Fine-Pitch-BGAs mit 0,5 mm, 0,4 mm oder gar 0,35 mm Kugelabstand versagt der Schrägblick selbst an der Außenreihe, weil benachbarte Bauteile und die geringe Bauteilhöhe den optischen Pfad blockieren.

Prüfmerkmal 3D-AOI 3D-AXI
Bauteilversatz (X/Y) Direkt messbar über Gehäusekanten Messbar über Kugel- und Pad-Schwerpunkte
Koplanarität / Verkippung Messbar über Gehäuseoberfläche Messbar über Kugelhöhenprofil (Z-Ebene)
Innenliegende Lötstellen Nicht sichtbar (0 Prozent Erfassung) Vollständig erfassbar
Lunker (Voids) Nicht messbar Volumetrisch messbar
Benetzungsfehler (HiP) Nicht messbar Erkennbar im Z-Schnittbild

AOI-Systeme mit Streifenprojektion (Moiré-Verfahren) erfassen Höhenunterschiede der BGA-Gehäuseoberfläche. Hebt sich eine Ecke des Gehäuses infolge von Verzug (Warpage) um mehr als 35 µm an, registriert dies die 3D-AOI als Koplanaritätsfehler. Das System liefert jedoch nur einen indirekten Verdachtsmoment: Ob das Lot darunter abgerissen ist oder sich die Kugel elastisch verformt und verbunden hat, bleibt optisch unlösbar.

Funktionsweise der laminographischen 3D-Röntgenprüfung

Klassische 2D-Durchstrahlungsröntgensysteme projezieren alle Materialschichten einer Baugruppe auf einen Flachbilddetektor. Bei doppelseitig bestückten Leiterplatten überlagern sich die Bauteile der Ober- und Unterseite. Liegt ein QFN oder ein zweiter BGA spiegelverkehrt auf der Rückseite, verschmelzen deren Schattenbilder im 2D-Röntgenbild. Eine automatisierte Auswertung scheitert hier an nicht separierbaren Grauwerten.

Die 3D-AXI nutzt das Prinzip der digitalen Laminographie oder Planar-Computertomographie. Dabei rotieren Röntgenquelle und Detektor synchron gegeneinander, oder die Baugruppe wird in einer Schrägwinkel-Projektion schrittweise abgetastet. Aus den erzeugten Einzelprojektionen (typischerweise zwischen 32 und 128 Aufnahmen pro Bildfeld) rekonstruiert ein mathematischer Rekonstruktionsalgorithmus einen volumetrischen Datensatz.

Dieser 3D-Datensatz lässt sich in frei definierbare Schichten entlang der Z-Achse zerlegen. Die Schnittdicke beträgt je nach Röhrenfokus und Detektorauflösung zwischen 10 µm und 30 µm. Für eine BGA-Lötstelle werden typischerweise drei Schnittebenen automatisch analysiert:

  • Bauteilschnittstelle: Schnitt durch den Übergang von BGA-Substrat zur Lotkugel zur Erkennung von Rissen und Kugelabrissen.
  • Kugelzentrum: Schnitt durch den Äquator der Kugel zur Bestimmung des maximalen Durchmessers und zur Void-Berechnung.
  • Board-Schnittstelle: Schnitt knapp oberhalb des Kupferpads der Leiterplatte zur Prüfung der intermetallischen Verbindungszone, von Benetzungsfehlern und Lötbrücken.

Moderne Systeme setzen geschlossene Mikrofokus-Röntgenröhren mit einer Röhrenspannung von 100 bis 130 kV und Ausgangsleistungen von 15 bis 40 Watt ein. Die erzielbare Voxelauflösung liegt bei 4 bis 12 µm pro Voxel. Damit werden Lötstellen beidseitig bestückter Baugruppen rechnerisch vollständig voneinander getrennt.

Fehlerbilder: Voiding, Head-in-Pillow und Bridging

Die Schichtbildanalyse der 3D-AXI macht mikrostrukturelle Fehler sichtbar, die im Betrieb zu thermischen oder mechanischen Ausfällen führen. Die Klassifizierung erfolgt anhand normativer Vorgaben nach IPC-A-610 und IPC-7095.

Voiding (Gaseinschlüsse)

Lunker entstehen durch ausgasendes Flussmittel während des Reflow-Prozesses, das vor dem Erstarren des Lots nicht entweichen kann. Die 3D-AXI berechnet die Fläche jedes Voids im Verhältnis zur Gesamtfläche der Kugel in der jeweiligen Schnittebene oder ermittelt das dreidimensionale Porenvolumen. Nach IPC-A-610 liegt der Grenzwert für die maximale Void-Fläche im Kugelquerschnitt meist bei 25 Prozent. In Automobil- oder Luftfahrtanwendungen fordern Kundenspezifikationen oft engere Grenzwerte zwischen 12 und 15 Prozent für die Gesamtheit aller Voids und maximal 8 Prozent für eine Einzellunke. Liegen Voids direkt an der Pad-Grenzfläche, sinkt die Wechsellastfestigkeit drastisch, da sie Risskeime bilden.

Head-in-Pillow (HiP) und Non-Wet-Open

Der Head-in-Pillow-Defekt zählt zu den tückischsten Fehlern in der Elektronikfertigung. Das Phänomen tritt auf, wenn sich das BGA-Gehäuse während des Reflow-Lötens durch unterschiedliche thermische Ausdehnungskoeffizienten (CTE-Mismatch) verzieht. Die Lotkugel hebt vom Pastendepot ab. Beide Lotmengen schmelzen separat und bilden jeweils eine eigene Oxidhaut aus. Kühlt die Baugruppe ab, setzt sich die Kugel auf das erstarrte oder erstarrende Pastendepot, ohne metallurgisch mit ihm zu verschmelzen.

Elektrisch ist die Verbindung bei Raumtemperatur oft leitfähig, versagt jedoch bei geringer Vibration oder Temperaturwechsel. Im 2D-Röntgenbild ist der Defekt unsichtbar, da die Kugel rund erscheint. Die 3D-AXI detektiert HiP in der Z-Schnittebene direkt am Pad: Statt einer homogenen Ellipse oder Kreisform zeigt das Bild eine markante Einschnürung, eine unvollständige Benetzungskontur oder eine verkippte Tropfenform mit messbarem Spaltmaß.

Bridging (Lötbrücken)

Lotbrücken führen zu direkten Kurzschlüssen zwischen benachbarten Pins. Ursachen sind zu hoher Pastenauftrag, Pastenausstrich durch mangelnde Schablonenunterstützung oder Versatz beim Bestücken. Während eine AOI Brücken nur am Rand erahnen kann, visualisiert die 3D-AXI Brücken im Bauteilinneren exakt. Das System differenziert, ob die Brücke auf Pad-Ebene durch überfließende Paste entstanden ist oder in der Kugelmitte durch mechanisches Quetschen während der Bestückung.

Taktzeiten und Prüfkosten pro Baugruppe

Der grundlegende Unterschied zwischen AOI und AXI liegt in der Prüfgeschwindigkeit. Eine optische 3D-AOI arbeitet im Durchlaufbetrieb (On-the-Fly) mit Zeilen- oder Flächenkameras. Sie scannt Flächen von 35 bis 70 Quadratzentimetern pro Sekunde. Eine Leiterplatte im Format 200 x 150 mm wird inklusive Auswertung in 8 bis 15 Sekunden komplett geprüft. Die AOI hält damit problemlos mit Linientaktzeiten von 20 bis 30 Sekunden Schritt.

Eine 3D-AXI benötigt mechanische Verfahrbewegungen, Belichtungszeiten für Dutzende Einzelbilder pro Bildfeld (Field of View, FoV) und Rechenzeit für die 3D-Rekonstruktion. Ein typisches Bildfeld umfasst 25 x 25 mm bis 40 x 40 mm. Pro Bildfeld fallen Aufnahmezeiten von 2,5 bis 6 Sekunden an. Beherbergt eine komplexe Baugruppe sechs BGAs und diverse QFNs, summiert sich die reine Inspektionszeit schnell auf 45 bis 90 Sekunden. Eine 100-Prozent-Prüfung aller Komponenten mittels AXI im SMT-Linientakt ist technisch meist unwirtschaftlich.

Kriterium 3D-AOI (Linienbetrieb) 3D-AXI (Inline) 3D-AXI (Offline / Stichprobe)
Investitionskosten 120.000 bis 240.000 EUR 380.000 bis 680.000 EUR 220.000 bis 420.000 EUR
Prüfzeit (Panel 200x150 mm) 10 bis 18 Sekunden 50 bis 140 Sekunden Manuell / variabel
Wartungskosten / Verschleiß Gering (LED, Führungen) Hoch (Röntgenröhre, Detektor) Moderat (weniger Betriebsstunden)
Röhrentauschintervall Entfällt 4.500 bis 9.000 Betriebsstunden 8.000 bis 15.000 Betriebsstunden
Prüfschärfe BGA-Kern 0 Prozent 98 bis 100 Prozent 98 bis 100 Prozent

Die wirtschaftliche Lösung in Hochvolumen-Linien ist der Hybridansatz. Die 3D-AOI verbleibt als Standardprüfstation direkt hinter dem Reflow-Ofen und prüft 100 Prozent aller Baugruppen auf Bauteilversatz, Polarität, passive Bauelemente und sichtbare Lötstellen. Die 3D-AXI wird inline nachgeschaltet, prüft dort jedoch ausschließlich definierte Risikobauteile (die BGAs und verdeckte Leistungsanschlüsse) über gezielte Bildfelder. Unkritische Bauteile werden im AXI-Prüfplan übersprungen, um die Taktzeit auf unter 28 Sekunden zu drücken.

Bei High-Reliability-Elektronik mit langen Taktzeiten (beispielsweise im Medizin- oder Bahnsektor) übernimmt die 3D-AXI die Vollprüfung. Die Mehrkosten von rechnerisch 1,80 bis 4,20 Euro pro Baugruppe für den Röntgenprüfschritt wiegen die Kosten eines Feldtausches, die schnell fünfstellige Summen erreichen, auf.

Regelkreis zur automatischen Korrektur des Druckers

Moderne SMT-Linien verknüpfen Prüfergebnisse über standardisierte Protokolle wie IPC-CFX (Connected Factory Exchange) oder herstellerspezifische Schnittstellen direkt mit den vorgeschalteten Fertigungsmaschinen. Ein AXI-System liefert hierfür wertvolle Daten, die über die SPI (3D-Lotpasteninspektion) hinausgehen.

Während die SPI das Pastendepot unmittelbar nach dem Druck bewertet, misst die 3D-AXI das Endresultat nach dem Reflow-Prozess. Aus der relativen Lage der erstarrten Kugelzentren zu den Leiterplattenpads berechnet die AXI-Software den realen Offset. Erkennt das System über drei aufeinanderfolgende Panels einen systematischen Versatz der BGA-Lötstellen um mehr als 18 µm in X-Richtung, speist der Regelkreis diese Korrekturdaten automatisiert an zwei Stationen zurück:

  1. Korrektur des Bestückautomaten: Der Bestücker korrigiert die Nullpunktlage und die Bauteilzentrierung für den spezifischen Bauteilgurt, um Platzierungsfehler auszugleichen.
  2. Offset-Anpassung am Schablonendrucker: Liegt der Kugelversatz nicht an der Bestückung, sondern an einem ungleichmäßigen Pastenabriss, meldet das System die Abweichung an das Drucksystem. Der Drucker korrigiert die Ausrichtung der Schablone zur Leiterplatte im Sub-Mikrometerbereich.
  3. Reinigungszyklus auslösen: Häufen sich Voids oder Lötperlen an bestimmten BGA-Ecken, signalisiert die AXI dem Schablonendrucker einen verunreinigten Schablonenboden. Dies triggert einen sofortigen Nass-Vakuum-Wischzyklus der Schablonenunterseite, noch bevor Brücken entstehen.

Durch diesen Regelkreis wandelt sich die AXI von einem reinen Sortierwerkzeug (Pass/Fail) zu einem sensorischen Baustein der Prozesssteuerung, der Schrott minimiert, bevor Grenzwerte überschritten werden.

Typische Fehler bei der Systemauswahl und Prüfplangestaltung

Die Implementierung von Röntgenprüfsystemen scheitert in der Praxis häufig an fehlerhaften Annahmen im Vorfeld. Die folgenden Fehler treten besonders oft auf:

  • 2D-AXI für doppelseitige Baugruppen beschaffen: Aus Kostengründen wird ein 2D-Röntgensystem für Baugruppen gewählt, die beidseitig mit BGAs oder Kühlkörpern bestückt sind. Die resultierenden Überlagerungsbilder erzeugen Pseudofehlerquoten von über 18 Prozent und machen den automatischen Betrieb unbrauchbar.
  • Zu viele Bildfelder (FoVs) inline erzwingen: Der Prüfplan wird ohne Priorisierung erstellt. Jedes kleine IC-Gehäuse wird geröntgt. Die Taktzeit explodiert auf 180 Sekunden, wodurch die gesamte SMT-Linie vor dem Röntgengerät abreißt.
  • Identische Void-Grenzwerte für alle Kugelpositionen: Außenkugeln eines BGA nehmen bis zu 70 Prozent der mechanischen Scherspannungen bei thermischer Verbiegung auf. Wer für die unkritischen Massekugeln im Zentrum dieselben harten Grenzwerte (z. B. unter 10 Prozent Voids) ansetzt wie für die Außenreihe, produziert unnötigen Ausschuss.
  • Vernachlässigung der Bauteildosis: Bestimmte Siliziumbausteine (beispielsweise nicht-flüchtige Flash-Speicher oder spezialisierte Sensoren) reagieren empfindlich auf ionisierende Strahlung. Eine ungeprüfte Röntgeninspektion mit hoher Dosis kann Bit-Flips oder permanente Gitterdefekte im Halbleiter erzeugen. Die maximal zulässige Strahlendosis laut Datenblatt muss im Inspektionsrezept hinterlegt sein.

Praktische Schritte zur Einführung

Befolgen Sie bei der Integration eines BGA-Prüfkonzepts die folgenden Handlungsschritte:

Beginnen Sie mit einer Design-for-Inspection-Analyse (DFI) Ihrer Leiterplatten. Identifizieren Sie alle BGA- und BTC-Komponenten (Bottom Terminated Components) und deren Abstände zu umliegenden Bauelementen. Liegen hohe Elektrolytkondensatoren oder Abschirmbleche im optischen Einfallswinkel, scheidet eine Schrägblick-AOI selbst für die Randkugelinspektion aus.

Klassifizieren Sie Ihre Baugruppen nach Sicherheits- und Zuverlässigkeitsanforderungen. Baugruppen für Konsumgüter mit niedriger Ausfallkritik lassen sich mit einer Kombination aus SPI am Druckausgang und optischer 3D-AOI am Ofenausgang mit stichprobenartiger Offline-Röntgenprüfung absichern. Baugruppen nach IPC-Klasse 3 (Industrie, Medizintechnik, Automotive) erfordern zwingend eine laminographische 3D-Röntgenprüfung jedes unzugänglichen Lötanschlusses.

Erstellen Sie für die AXI-Rezepte eine Zoneneinteilung pro BGA: Weisen Sie den äußeren zwei Kugelreihen strengere Kriterien bezüglich Voids, Kugelrundheit und minimaler Benetzungsfläche zu als den inneren Signal- und Versorgungspins. Hinterlegen Sie Schwellenwerte für den automatischen Schablonenreinigungszyklus.

Ziehen Sie vor der Festlegung von Strahlendosis und Prüfparametern stets den Bauteilhersteller zu Rate, um strahlungsinduzierte Schäden an empfindlicher Halbleiterspeichertechnik auszuschließen. Verpflichten Sie den betrieblichen Strahlenschutzbeauftragten frühzeitig in die Anlagenaufstellung und Unterweisung des Bedienpersonals gemäß den länderspezifischen Strahlenschutzverordnungen einzubinden.

Dieser Fachartikel dient der reinen Information; für sicherheitskritische Schaltungen ist die direkte Freigabe durch zertifizierte Prüfingenieure erforderlich. Haftungsausschluss

Marc Oberli
Verfasst von Marc Oberli Leitender Redakteur für Mikroelektronik

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